其中，工业机器人指应用于生产过程与环境的机器人，例如多关节机械手或多自由度机器人；服务机器人指除工业机器人之外的、用于非制造业并服务于人类的多种高集成的机器人，主要包括家用服务机器人、服务机器人、公共服务机器人和特种机器人。
关键包括：(1)洁净润滑：通过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂，实现对环境无颗粒污染，满足洁净要求。(2)高速稳控制：通过轨迹和关节伺服性能，实现洁净搬运的稳性。(3)控制器的小型化：根据洁净室建造和运营成本高，通过控制器小型化减小洁净机器人的占用空间。(4)晶圆检测：通过光学传感器，能够通过机器人的扫描，卡匣中晶圆有无缺片、倾斜等信息。机器人控制系统是机器人的大脑，是决定机器人功能和性能的主要因素。工业机器人工业机器人控制的主要任务就是控制工业机器人在工作空间中的运动位置、姿态和轨迹、操作顺序及动作的时间等。具有编程简单、菜单操作、友好的人机交互界面、在线操作提示和使用方便等特点。关键包括：(1)开放性模块化的控制系统体系结构：采用分布式cpu计算机结。 根据机器人联合会(IFR)的分类，机器人分为工业机器人和服务机器人。几年制造业劳动力成本不断提升，相对于其他发展家，老龄化加速，劳动力日渐短缺，劳动力优势已经弱化。而与此同时，工业机器人终端产品销售均价不断降低，是国产经济型机器人的回报符合制造业中小企业的预期时间，随着零部件的国产化，国产机器人市场前景广阔，制造业企业市场需求旺盛。
机器人和人工智能（AI）是制造业的核心，也是推动数字化工业发展的驱动力。机器人和人工智能在许多行业发挥着普遍重要的作用提升准确性和一致性、缩短生产量、产品质量。越来越多的金属制造业工厂和实验室均使用机器人和人工智能，以提率和连接性。目前的机器人产业链可分为工业机器人和服务机器人来进行分析。工业机器人产业链包括核心零部件、本造、系统集成和行业应用四个核心环节；服务机器人产业链整体可分为上游核心零部件、中游与操作系统、下游整机制造与应用服务三大环节，金属制造业在其中处于重要一环。除引入自动化的生产线外，一些行业还引入了协作机器人，这些机器人可与人们一起工作。事实证明，由人类和机器人组成造团队能填补人类空闲时间并显著整体效。 随着制造业对于精细化生产的要求，市场对产品性及可靠性的保证，更多造业企业朝向自动化、数字化、智能化方向升级，对工业机器人的需求逐步释放；、大数据、人机交互等关键的加速突破，服务机器人下游应用场景也日趋广泛，已延伸至、教育、餐饮、等各个领域，特定场景的服务机器人将迎来发展机遇。
分为机器人控制器(rc)，运动控制器(mc)，光电i/o控制板、传感器处理板和编程示教盒等。机器人控制器(rc)和编程示教盒通过串口/can。机器人控制器(rc)的主计算机完成机器人的运动规划、插补和位置伺服以及主控逻辑、数字i/o、传感器处理等功能，而编程示教盒完成信息的显示和按键的输入。(2)模块化层次化的控制器系统：系统建立在基于开源的实时多任务操作系统linux上，采用分层和模块化结构设计，以实现系统的开放性。整个控制器系统分为三个层次：硬件驱动层、核心层和应用层。三个层次分别面对不同的功能需求，对应不同层次的，系统中各个层次内部由若干个功能相对对立的模块组成，这些功能模块相互协作共同实现该层次所提供的功。 全球制造业正面临高质量，率，低消耗为特点的新的竞争局面，智能制造是新一轮科技和产业变革的核心，是制造业转型升级的新动能，在引领制造业转型提升的同时，也保障和带动了工业机器人的旺盛需求。电子与汽车制造行业自动化需求不断提升，也为机器人产业发展奠定了良好的基础。
采用激光传感器实现焊接过程中的焊缝跟踪，提升焊接机器人对复杂工件进行焊接的柔性和适应性，结合视觉传感器离线观察焊缝跟踪的残余偏差，基于偏差统计补偿数据并进行机器人运动轨迹的修正，在各种工况下都能的焊接质量。(2)协调控制：控制多机器人及变位机协调运动，既能保持焊和工件的相对姿态以满足焊接工艺的要求，又能避免焊和工件的碰撞。激光加工机器人激光加工机器人是将机器人应用于激光加工中，通过高精度工业机器人实现更加柔性的激光加工作业。本系统通过示教盒进行在线操作，也可通过离线方式进行编程。该系统通过对加工工件的自动检测，产生加工件的模型，继而生成加工曲线，也可以利用cad数据直接加工。可用于工件的激光表面处理、打孔、焊接和模具修复。 2016年，机器人产业发展规划(2016－2020年)明确攻克工业机器人关键，重点突破减速器、伺服电机和驱动器、控制器、传感器、末端执行器五大关键零部件的壁垒，发展弧焊机器人、全自主编程智能工业机器人等10类产品。
检测出晶圆与之间基准位置之间的偏移，通过动态修正运动轨迹，保证机器人准确地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位。(5)符合semi标准的真空机器人语言：根据真空机器人搬运要求、机器人作业特点及semi标准，完成真空机器人语言。(6)可靠性系统工程：在ic制造中，设备故障会带来的损失。根据半导体设备对mcbf的高要求，对各个部件的可靠性进行测试、评价和控制，机械手各个部件的可靠性，从而保证机械手满足ic制造的高要求。洁净机器人洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人。随着生产水洁净机器人不断，其对生产环境的要求也日益苛刻，很多现代工业产品生产都要求在洁净环境进行，洁净机器人是洁净环境下生产需要的关键设。 年来，的一系列产业为机器人领域的快速发展提供了充分的保障，推动机器人领域的进步和产业升级。2016年12月，制订了工业机器人行业规范条件，加强工业机器人产品质量管理，从综合条件、企业规模、质量要求、研发能力、人才实力等方面对工业机器人本体生产企业和工业机器人集成应用企业提出要求。
工业机器人可随其工作环境变化的需要而再编程，因此它在小批量多品种具有均衡率的柔性制造过程中能发挥很好的功用，是柔性制造系统中的一个重要组成部分。(2)拟人化。工业机器人在机械结构上有类似人的行走、腰转、大臂、小臂、手腕、手爪等部分，在控制上有电脑。此外，智能化工业机器人还有许多类似人类的“生物传感器”，如皮肤型传感器、力传感器、负载传感器、视觉传感器、声觉传感器、语言功能等。传感器了工业机器人对周围环境的自适应能力。(3)通用性。除了专门设计的的工业机器人外，一般工业机器人在执行不同的作业任务时具有较好的通用性。比如，更换工业机器人手部末端操作器（手爪、工具等）便可执行不同的作业任务。(4)工业机器涉及的学科相当广。 2018年，各地方大力支持发展机器人，陕西、辽宁、黑龙江、福建、河北、江苏等省市均已支持机器人应用的相关优惠。机器人产业链可分为工业机器人和服务机器人来进行分析。工业机器人产业链包括核心零部件、本造、系统集成和行业应用四个核心环节；服务机器人产业链整体可分为上游核心零部件、中游与操作系统、下游整机制造与应用服务三大环节。
